旺宏電子一廠雖已持續運轉達10年以上,但仍不遺餘力地持續推動各項節水減廢與環境保護等改善工作,使本廠朝向一座高效率低污染的綠色晶圓廠目標邁進。而廠務單位除面對種種新的工作挑戰與要求外,為讓有限的水資源能妥善使用,並希望寶島美麗的青山綠水長久留存,更不斷地盡力執行系統改善及用水管理工作,以獲得日益優異的節水成效。本次能獲得經濟部水利署所頒發的節約用水績優單位獎項,除感謝相關單位與主管的支持協助,更是對廠務節水團隊全體夥伴努力與付出之最佳鼓舞。

訂定環境管理政策白皮書為規範,並超越規範目標。

弱陰離子樹脂塔運轉時間延長
設有水資源管理組,並成立節約用水專案小組,落實成效。
投資金額均能符合節水與經濟效益。
節水措施包括排水分流回用及用水減量等,設備完備效果良好。
對操作人員用水習慣加以規範,以降低製程用水。
建置工廠用水自動讀表系統,確實運作且每日執行用水清查。
本廠為6吋晶圓之舊廠,但回收率可達80%,成效卓著。
提供多項節水獎勵制度,並進行節水技術之研究。

建立全員參與的節約用水體系。
持續節約用水與回收使用來降低對環境的負荷。
以訓練溝通來強化員工了解節約用水之責任。

清洗蝕刻機台之SC-1保護槽(酸槽水浴),加裝流量控制器調整純水至最低流量,減少純水使用量,並縮短浸泡時間。

晶片刷洗機台減量
縮短晶片刷洗機台純水沖洗時間,減少純水用量。
將符合水質要求之熱純水排放水之排放管改管,納入回收系統。
將清洗蝕刻機台設備第二、三水槽符合水質要求之排放管改管,納入回收系統。
延長混床樹脂塔之運轉時間。
將水質符合要求之樹脂再生清洗水,規劃分支管路,增設氣動閥,修改控制器程式,自動控制功能,納入回收系統。
將純水區監測儀器用水,排放管改接至水池回收。
將符合水之要求之純水砂濾塔再生清洗水,排放管改配至回收水池。
廢氣處理設備增設流量計,調整運轉模式,降低用水量。
廚房油煙水洗裝置設減壓閥,減少用水量。
將空調水箱冷凝水導回水池,重新再利用或回收至冷卻水塔使用。
設置工廠用水自動讀表系統。
使用省水器材,及設置雨水偵知器,雨天停止自動灑水澆灌系統。

以水資源操作管理規範,規範各系統之用水,及建立用水清查制度,掌握全廠各項用水狀況。
辦理技術研討會,交流節水技術。
定期利用公司電子佈告欄宣導各式節水方法與措施,並提供相關節水資訊。
獎勵於節水方面有良好表現者,並鼓勵節水技術之研究與發明,部分現已取得專利。

投資金額265萬元,節省水量109,941 m3/年,製程回收率80%,節約用水百分比16.3%。

2002年工業減廢績優獎

空調水箱冷凝水回收
 
2002年第十一屆企業環保獎  
2002年OHSAS 18001驗證  
1997年第六屆企業環保獎  
1997年ISO 14001驗證

純水砂濾塔再生清洗水回收
1996年優良企業獎環保組
1996年工業減廢績優獎
1995年ISO 9001驗證  
1995年第四屆企業環保獎  
1995年節約能源績優獎  
1994年工業污染防治績優廠商  

實施方案
用水量
經濟效益
改善前
(M3/月)

改善後
(M3/月)

節省水量
(M3/年)
節省金額
(元)
投資金額
(元)
回收期
(月)
熱純水排放水回收
15,242
533,484
650,000
14.6
純水區儀器監測水回收使用
5,475
191,625
5,000
0.3
混床樹脂延長運轉時間
1,761
1,305
5,548
194,180
混床再生清洗水回收
2,811
98,368
538,000
65.6
清洗蝕刻機台排水回收
11,388
398,580
450,000
13.5
廢氣處理設備用水節省
2,457
1,638
9,965
348,758
100,000
3.4
純水砂濾塔再生用水回收
14,600
511,000
220,000
5.2
廚房用水減量
1,800
1,200
7,300
255,500
30,000
1.4
空調水箱冷凝水回收
21,900
766,500
400,000
6.3
中央洗滌塔用水減量
2,988
2,700
3,504
122,640
10,000
1.0
清洗蝕刻機台減少純水用量
12,571.5
11,658
3,595
431,430
250,000
7.0
縮短清洗蝕刻水槽浸泡時間
11,461
10,843
7,519
902,280
晶片刷洗機台減量
180
90
1,095
131,400
* 1 US$ ≒ 34 NT$