單位名稱

台灣應用材料股份有限公司

負 責 人

吳子倩總經理

聯 絡 人

盧秋志廠務部經理

資 本 額

六億六仟八百萬

年營業額

八十三億

員工人數

874

主要產品

半導體製程模組、設備零組件、上述相關產品之系統測試技術咨詢服務

公司地址

新竹市科學園區研發二路三十二號

公司電話

03-5798888

公司傳真

03-5793435

網  址

www.amat.com.tw

  台灣應用材料公司伴隨台灣半導體工業蓬勃發展與成長,同時肩負珍惜地球寶貴資源的使命。藉由建廠初期對節約用水設計的規劃及持續改善,投入大量資金人力,建立新世代半導體銅製程廢水回收系統,成效卓著,期許能在經濟發展與用水節約上共創雙贏的境界。這次獲獎,對本公司有很大的鼓舞,證明高科技產業除了在科技發展之外,也能兼顧自然資源的保護工作。未來,將持續秉持一貫信念:21世紀成功的契機,必須要尊重環境保護及執行綠色使命,成為維護及保存自然資源的領導者。

  身為台灣第一大半導體供應商的台灣應用材料股份有限公司,本著實踐企業社會公民之精神與責任,以「綠色使命」為策略積極維護地球環保。於規劃建廠之初,即已將水資源循環再利用概念納入管線分離之設計考量;長期針對全廠製程、空調、民生用水等進行水質/水量的檢討與投資改善。更持續引進/推廣新的水處理及再利用技術,有效提昇本土化廢水處理/回收能力,達到廢水減量及高回收利用率之績效,建立新世代半導體製程廢水處理及節約用水之楷模。

節水政策

水資源回收循環再利用為政策導向。

於工業減廢活動中,提出節水個案。

設置跨部門的環保工安衛委員會:由各部門派員共同參與規劃、檢討、執行,以落實各項節水方案。

提案委員會與創新委員會:獎勵員工節水提案與不斷創新;透過審核及可行性評估,以持續提昇績效。

節水設備改進及效益

全廠空調冷凝水回收工程,節省用水量1,080噸/年。

超純水設備UF快沖回水工程,節省用水量9,720噸/年。

超純水設備RO快沖回水工程,節省用水量8,640噸/年。

降低HVAC、Cooling Tower排放水,節省用水量6,120噸/年。

DI系統檢測儀器排放水回收,節省用水量540噸/年。

2000年引進CMP化學機械研磨廢水處理及回收系統,預期回收率可提高至90%,估計可回收水量4,224噸/年,未來將推廣至業界。

設置製程回收再利用設備,製程水回收率達81.4%。

減少清洗玻璃帷幕與澆花頻率;廠區內禁止洗車。

設置全廠雨水/廢水分流系統,長期投入廢水處理系統改善工程。

一般民生用水採用省水器材,並配合用水設備需求調降水量。

減少廚房清洗用水;並設置廚房廢水油水分離系統,並持續改善設備效能,降低環境污染。



降低HVAC、Cooling Tower排放水



銅廢水處理系統



DI系統檢測儀器排放水回收



高效率噴灌設備

管理與推廣

每日統計用水量及放流水量,按月製作水平衡圖與用水/廢水排放圖表以追蹤管控。

設置地下水監測井,長期勘測水質變化防治污染。

每年定期進行一次地下水管線檢修與維護。

宣導愛惜水資源,張貼節水海報。

積極參與各項公益活動,推動環保概念。

單位:噸/日T/D I=進水量 O= 排放量 V=蒸發量

水平衡圖

整體效益

  各項節約用水投資金額總計3,327萬元,於實施後可節省用水量38,537/年;相當於節省金額約520,250/年。

實施方案

改善前
每月用水量
M3/月)

改善後
每月用水量
M3/月)

節省水量
(M3/)

節省金額
()

投資金額
()

回收期
()

全廠空調冷凝水回收工程

69,120

68,040

1,080

14,580

100,000

82.3

超純水設備UF快沖回水工程

68,040

58,320

9,720

131,220

50,000

4.6

超純水設備RO快沖回水工程

58,320

49,680

8,640

116,640

50,000

5.1

降低HVACCooling Tower排放水

49,680

43,560

6,120

82,620

40,000

5.8

洗手台水龍頭水量調整

43,560

42,660

900

12,150

廁所沖水量調整

42,660

41,760

900

12,150

減少玻璃帷幕之清洗頻率

41,760

41,040

720

9,720

減少廚房清洗用水

41,040

38,340

2,700

36,450

減少澆花頻率、禁止洗車

38,340

37,080

1,260

17,010

DI系統檢測儀器排放水回收

37,080

36,540

540

7,290

20,000

32.9

廠區裝置省水龍頭

36,540

34,807

1,733

23,396

10,000

5.1

2000年設置CMP廢水處理及廢水回收系統

34,807

30,583

4,224

57,024

33,000,000

1997年勞氏驗船協會ISO 9002認可登錄

1998年勞氏驗船協會ISO 14001認可登錄

1999行政院環保署第八屆企業環保獎

1999年新竹科學園區管理局環境整潔及資源回收競賽績優環保楷模

1999年新竹科學園區管理局廠房綠美化優異獎

2000DNV國際認證ISO 9001認可登錄

2000年新竹科學園區管理局廠房綠美化特優獎

2000年經濟部第十一屆品質優良案例獎

2000年經濟部第八屆產業科技發展獎

2000年行政院環保署第九屆企業環保獎

2000年經濟部工業精銳獎及全國工業減廢獎績優廠商